愛得恩9大優點
各種硼矽酸鹽或鋁矽酸鹽玻璃包含在+/- 0.5 ppm/K內與鉬匹配之CTE。 可選擇CTE低於金屬配件之CTE的玻璃毛細管以在金屬配件與玻璃毛細管之間產生干涉配合。 舉例而言，一個實施例可包含：包含鉬之金屬配件，及包含CTE為約3.3 ppm/K之硼矽酸鹽之玻璃毛細管。 此類壓力可有益地使玻璃至金屬密封件另外及/或至少部分地在金屬配件與玻璃毛細管之間形成干涉配合。 亦即，在使用中，壓力可施加至玻璃毛細管210之內表面，藉以壓力可在一定程度上進一步使玻璃毛細管210膨脹，因此相抵於金屬配件220按壓玻璃毛細管210。 圖2所展示之輻射源SO為例如可被稱作雷射產生電漿源之類型。
- 如條項1至3中任一項之方法，其中施加該壓力之步驟包含藉由將反向壓縮力施加至以下各者中之至少一者而將一外壓力施加至該玻璃毛細管： 自該通孔延伸的該玻璃毛細管之部分；及 該玻璃毛細管之一或兩個端。
- 用於製造用於小滴產生器之噴嘴200之另一步驟可包含加熱金屬配件220或加熱金屬配件220及玻璃毛細管210。
- 可能之其他應用包括製造整合式光學系統、用於磁疇記憶體之導引及偵測圖案、平板顯示器、液晶顯示器、薄膜磁頭等。
- 儘管在以下描述中提及錫，但可使用任何合適燃料。
- 藉由使玻璃毛細管210之CTE與金屬配件220之CTE接近地匹配，可避免在將噴嘴加熱至工作溫度(例如對於熔融錫為500 K至500 K)之後使玻璃毛細管破裂。
- 如條項1之方法，其中該將一玻璃毛細管安置於一金屬配件之一通孔中包含安置呈具有一恆定直徑之一管之形式的該玻璃毛細管，且其中該加熱及該施加一壓力會改變該毛細管之形狀。
如任一前述條項之方法，其中在加熱該金屬配件期間及/或之後將該壓力施加至該玻璃毛細管。 如任一前述條項之方法，其中在包含該噴嘴之一操作溫度範圍及該噴嘴之一製造溫度範圍的一溫度範圍內，該玻璃毛細管之一熱膨脹係數小於或等於該金屬配件之一熱膨脹係數。 如任一前述條項之方法，其中該金屬配件包含鉬、鉭、鎢或一金屬合金，及/或該玻璃毛細管包含一硼矽酸鹽、一鋁矽酸鹽或石英。 如任一前述條項之方法，其中該金屬配件之至少一部分包含一金屬氧化物層。
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第一開口225或第二開口230可由例如塞、蓋或帽密封。 另外或替代地，第一開口225或第二開口230可由例如膠或諸如可固化樹脂之樹脂或其類似者密封。 在一個實施例中，提供每分鐘介於4標準公升與8標準公升之間的氬氣氣體流，但在其他實施例中使用其他氣體流。
有必要在玻璃毛細管110與配件120之間形成密封件，例如氣密密封件。 玻璃毛細管110可安置於套接管130之通孔內。 套接管130可包含相對於玻璃毛細管110之順應式材料。 亦即，套接管130通常可為彈性的及/或可壓縮的。
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在圖3b之所繪示實施例中，用帽250密封第二開口230。 在如此調節之後，EUV輻射光束B與圖案化器件MA相互作用。 由於此相互作用，產生了經圖案化EUV輻射光束B’。
因而，可使用任何合適方式將軟管或管件(未展示)附接至玻璃毛細管210之突起部分以在軟管或管件與玻璃毛細管210之間形成密封件。 泵或壓縮機可以可連通方式耦接至軟管或管件，且因此經組態以將內壓力施加至玻璃毛細管210。 愛得恩 玻璃毛細管210為中空玻璃管，其在第一端225及第二端230處敞開。
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此類氧化物層可提供較穩固及/或可靠及/或有效玻璃至金屬密封件。 有益地，提供例如金屬氧化物層之氧化物層會提供可用以形成有效玻璃至金屬結合層之氧原子。 如請求項1之方法，其中在包含該噴嘴之一操作溫度範圍及該噴嘴之一製造溫度範圍的一溫度範圍內，該玻璃毛細管之一熱膨脹係數小於或等於該金屬配件之一熱膨脹係數。 如請求項1之方法，其中施加該壓力包含將一內壓力施加至該玻璃毛細管且至少包含： 密封該玻璃毛細管之一第一開口；及 將一氣體泵送至該玻璃毛細管之一第二開口中。
玻璃毛細管210之退火所需之特定溫度及/或加熱及/或冷卻速率可取決於玻璃之特定玻璃類型及/或組成物。 愛得恩 愛得恩 舉例而言，可將玻璃毛細管210在冷卻至環境溫度之前加熱至約600 K至800 K，但在其他實施例中亦可使用其他溫度。 如圖3c所展示，由箭頭260、265展示之反向壓縮力係在相對於玻璃毛細管210之縱向方向上施加。
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如先前所描述，通孔可為筆直或實質上筆直，例如通孔可不具有截頭錐形部分。 亦即，在替代實施例中，通孔之全部或實質上全部可為筆直，例如均一圓柱形。 在一個特定實施例中，金屬配件220可在相對惰性氛圍中被加熱。 舉例而言，金屬配件220可安置於護罩、容器、腔室、圍封體或其類似者內，並曝露於諸如氮氣或氬氣之相對惰性氣體。 有益地，此類相對惰性氣體可防止玻璃毛細管210或金屬配件220之一或多個表面氧化。 舉例而言，包含鉬之金屬配件220在氧氣存在之情況下被加熱時可特定地經受氧化。
僅出於實例之目的，圖3b展示帽250密封玻璃毛細管210之第二端230。 在圖3b之實例中，在由箭頭255展示之方向上將氣體泵送至玻璃毛細管之第一端225中。 若需要此類氧化物層，但發現其最初不存在或不足，則可處理金屬配件220以形成氧化物層。
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亦即，由箭頭260、265展示之方向大體上反向。 因而，力為壓縮力，其用來壓縮玻璃毛細管210。 隨著將氣體泵送至玻璃毛細管210中，玻璃毛細管210內之壓力增加。 在一個實施例中，玻璃毛細管210內之壓力可被設定為約0.5巴，但在其他實施例中，玻璃毛細管210內之壓力可被設定為或增加至介於0.1巴與10巴之間，或更高。 愛得恩 金屬配件220可被至少加熱至玻璃毛細管210之工作溫度，例如玻璃毛細管210變得韌曲之溫度。 較佳地，金屬配件220不被加熱至將會使玻璃毛細管210或金屬配件220在其自身重量下過度地變形之溫度。
- 此外，此類研磨或拋光可移除非想要的碎屑或氧化物層。
- 此類剛性元件可防止玻璃毛細管210之通孔歸因於所施加之外力而在非想要的方向上陷縮或過度地變形。
- 有益地，此類冷卻可至少部分地使玻璃毛細管退火，因此降低玻璃毛細管內之內應力。
- 中間焦點6處之影像充當用於照明系統IL之虛擬輻射源。
- 將內壓力施加至玻璃毛細管210之步驟可包含密封玻璃毛細管210之第一開口225或第二開口230之步驟。
- 如條項19之噴嘴，其中該通孔之該形狀包括一均一圓柱形區段及/或一截頭錐形區段。
在此狀況下，微影裝置LA將由經圖案化EUV輻射光束B’形成之影像與先前形成於基板W上之圖案對準。 該等反向壓縮力可在相對於該玻璃毛細管之一縱向方向上施加。 亦即，該等反向壓縮力可沿著該玻璃毛細管之一縱向方向施加。
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詳言之，且如圖3b所展示，玻璃毛細管210在通孔之截頭錐形部分240內膨脹及/或變形，直至其接觸金屬配件220之通孔之截頭錐形部分240。 密封第一開口225或第二開口230之步驟可在加熱金屬配件220之步驟之前或之後執行。 舉例而言，在加熱金屬配件220使得玻璃毛細管210軟化之後，可藉由壓縮(例如捏縮或捲縮)第一開口225或第二開口230處的玻璃毛細管210之一部分來密封第一開口225或第二開口230。 此外，密封第一開口225或第二開口230之步驟可在將玻璃毛細管210安置於金屬配件220之通孔235、240中之步驟之前或之後執行。 加熱及下文所描述之加壓使玻璃毛細管210在金屬配件220內膨脹以符合金屬配件之通孔235之形狀。
亦應瞭解，在落入本發明之範疇內之替代實施例中，通孔可為筆直或實質上筆直。 通孔之形狀可包括均一圓柱形區段及截頭錐形區段。 可藉由小滴產生器朝向雷射光束之路徑引導燃料。 小滴產生器可包括用以將燃料發射為小滴之噴嘴總成。 此類噴嘴總成可在加壓及/或高溫環境中操作，且因而，可能有必要在噴嘴總成之組件之間形成耐溫及耐壓密封件(例如氣密密封件)。
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